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超小型、低功耗的MEMS表壓傳感器 長6.1mm×寬4.7mm×高8.2mm的超小型。 比電容式壓力傳感器更優異的電氣特性。 測量壓力范圍為0～37kPa。 偏置電壓：-2.5±4mV 量程電壓：31.0±3.1mV 0.2mW的低功耗。 受溫度影響小。 量程電壓：±1.0 %F.S. 偏置電壓：±3.0%F.S.
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